中古 DMS M300 #9262351 を販売中

DMS M300は、クリーンルーム環境に信頼性の高い反復可能な性能を提供するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。それは効率的で、適用範囲が広く、安全な操作のために合わせられるあらゆる特徴と完全なプロセス制御およびオートメーションを提供するように設計されています。M300はスクラブ技術を使用して、ウェーハやマスクを徹底的に洗浄します。0。1ミクロンのノズル、0。2ミクロンのノズル、2ステージのフィルター装置からなる多段スクラバーヘッドを備えています。スクラビングシステムは、すべてのウェーハとマスクに均一で一貫した結果を保証するように設計されています。クリーンルームの安全性を確保するために、さらに0。05ミクロンの空気/空気スクラバーがユニットに組み込まれています。DMS M300にはプロセスコントローラも内蔵されており、ユーザーはスクラビングプロセスの正確なパラメータ設定を行うことができます。スクラブ圧力、水温、流量、ウェーハの移動速度を調整する設定が可能です。さらに便利なことに、このマシンは調整可能なタイマー設定とセルフテスト機能も備えており、ツールが常に最適に動作していることを保証します。M300は最高の安全および清潔のために設計されています。スクラバーは異物による損傷を防ぐためにアンチブロックアセットを備えています。また、クリーニングプロセス中に発生する廃棄物を取り除くためのセルフリセットスクラップモデルもあります。クリーニング圧力と接触する装置のすべての部分は優秀な耐食性のための316ステンレス鋼からなされます。最後に、DMS M300は、環境への影響を最小限に抑えるように設計されています。システムのすべての部分はエネルギー効率のために設計されており、最小限のメンテナンスが必要です。フィルターユニットはセルフクリーニングであり、機械は廃棄物の出力を最小限に抑え、電力の引くことを減らすように設計されています。全体的に、M300は信頼性の高い反復可能な性能と最大のクリーンルームの安全性を提供するように設計されています。あらゆるクリーンルーム環境で常に最適な結果を提供する汎用性と信頼性の高いツールです。