中古 DMS M208 #9399898 を販売中

DMS M208は、半導体製造の洗浄プロセスを自動化するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーには、カセットからカセットへの輸送、飽和前のすすぎ、スクラブ、最終的なクリーニングおよび乾燥を含む5つの統合モジュールが取り付けられています。この自動化されたプロセスは、1サイクルで複数のエッチング成分の前面と背面から有機汚染物質を除去します。クリーニングは、ユーザーからエッチングされたコンポーネントのカセットを取り、プリサチュレーションリンスステーションに移動するカセット間トランスポートから始まります。このステーションはエッチング成分を液体溶液、通常は過酸化水素または水酸化ナトリウム（NaOH）の希釈溶液で飽和させます。この溶液はスプレースプレーヤーを使用して適用され、エッチングされた部品から残留粒子を除去するために使用されます。次の駅は、複数のスクラブブラシとスクラブプレートを備えたスクラブステーションです。これらのスクラブブラシは、スクラブプレートの助けを借りてエッチング成分から有機汚染物質を除去するために使用されます。このステーションには、均一なスクラブ性能を確保するための低流量シャワーも含まれています。スクラブ後、部品は最終的なクリーニングステーションに移され、ケミカルフリーのクリーニングと最終的な乾燥が行われます。このプロセスは、残りの有機汚染物質または残留化学粒子を除去します。洗浄された部品は乾燥ステーションに移されます。ここでは、コンポーネントから水分が除去され、ユーザーに返すためにそれぞれのカセットに転送する準備ができています。M208は、最小限のオペレータ相互作用を必要とする完全に自動化されたシステムです。最大99％の粒子除去効率を実現し、幅広い半導体製造ニーズに対応しています。生産のダウンタイムを短縮し、歩留まりを向上させ、生産工程内の汚染レベルを低下させます。