中古 DISCO DFC 1460 #9382805 を販売中

ディスコDFC 1460は、シリコンウェーハ製造用に設計されたウェーハおよびマスクスクラバー機です。ウェーハやマスク表面から微細な粒子や表面汚染を除去するために使用されます。このマシンは、均質で連続的な洗浄プロセスを確保するために最適化された高圧リンスジェットと2つのスクラビングヘッドによって駆動されます。洗浄プロセスは、ステンレス製のチャンバーで行われ、ウェーハとマスクが最初に化学的なプレリリースプロセスを受け、次にプレスクラブが洗浄され、最後に高圧スクラブが行われます。この洗浄プロセスの間に、チャンバーは水で満たされ、表面の粒子や汚染物質を簡単に除去できるように化学的に処理されます。スクラビングヘッドはコンベアから独立しており、自由なスクラブ動作を可能にし、優れたクリーニングを保証します。スクラビングヘッドは、長時間にわたる高い洗浄速度と信頼性の高い洗浄性能を提供するために最適化されています。DFC 1460には、生産に適した多くの機能があります。効率的な設計により、最低限の水と化学物質の消費を保証し、メンテナンスコストを削減します。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、簡単なセットアップと操作が可能です。内部部品への容易なアクセスのために、作り付けのクリーニングステーションがあります。安全性を向上させるために、機械は可動部品との直接接触なしで設計されています。また、オペレータに潜在的な問題を警告する、操作上の障害を検出する自己診断システムも備えています。ディスコDFC 1460は、信頼性の高いウェーハとマスクの製造用に特別に設計されています。これは、フォトエッチング、CMP、ウェットスクラブなど、さまざまなウェーハおよびマスクプロセスアプリケーション用の堅牢で信頼性の高いマシンです。クリーンで優しく効果的なクリーニングプロセスを提供し、最高水準の品質を満たしています。