中古 DISCO DCS 6 #293807258 を販売中
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DISCO DCS 6は、半導体製造で使用されるウェーハやマスクスクラバーで、稼働前後の洗浄に使用されます。このスクラバーは、ウェーハやマスクのクリーニングとスクラブに最適で、正確なウェーハパターニングと作成を保証します。DCS 6は、スクラビングアームとクリーニングソリューションの2つの主要コンポーネントで構成されています。スクラビングアームはステンレス製で、様々な個々のブラシ、ワイパーブレード、スクラブピンを備えた可動アームが特徴です。これらのスクラブエレメントには、複数のウエハサイズと形状に合わせてさまざまな組み合わせが可能です。また、自動給紙機構を備えており、複数のウェーハとマスクを同時にスクラブすることができます。ディスコDCS 6で使用される洗浄液は、ウェーハやマスクから汚れや粒子を効果的に除去するために配合されています。これらの洗剤は可燃性ではなく、危険な溶媒がなく、空気中の粒子を最小限に抑えるように設計されています。洗剤はマニホールドシステムを介してスクラビングアームに供給され、スクラバーブラシやピンに簡単かつ正確に適用できます。DCS 6は薄型設計を採用しているため、既存の生産ラインと効率的に統合することができます。さらに、このスクラバーは最高の安全性と効率のために設計されています。スクラビングアームは自動化され、ウェーハやマスクへの損傷のリスクを減らすために、さまざまなフェイルセーフを備えています。結論として、DISCO DCS 6は、生産ラインでウェーハやマスクを洗浄および洗浄するために設計された効率的で効果的なスクラバーです。薄型設計、自動スクラバーアーム、非可燃性洗浄ソリューションにより、半導体製造の安全性と生産性が向上します。
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