中古 DISCO DCS 1460 #9395087 を販売中

DISCO DCS 1460は、半導体製造プロセスで使用するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。ウエハーやマスクを極めて低消費水で洗浄し、高い生産性を実現する効率的かつ効果的な機器に、先進技術を組み合わせています。このシステムは、信頼性の高い上下スプレー装置を備えており、上部のノズルはクリーニング液を噴霧し、下側のノズルはマイナスイオン化クリーニングソリューションを循環させます。この噴霧技術は、ウェーハまたはマスク表面全体の均一な洗浄を保証します。また、平面クリーニングプレート、ワイドウェハクランプ環境、クリーニングモジュールへの直接接続フローチャネルを備えたマスクストレージタンクなど、さまざまな機能を備えています。これにより、水の消費量を最小限に抑えながら、粒子や有機残留物を効率的に除去することができます。なお、DCS 1460は、各種機器や基板にカスタマイズした加工条件を提供し、洗浄能力をさらに高めることができます。ディスコDCS 1460には直感的な制御機が搭載されており、工具の簡単な操作とメンテナンスが可能です。また、メンテナンスレポートの自動生成、操作が簡単なインタラクティブなタッチスクリーン制御などの便利な機能も提供します。このアセットには3Dカラービューディスプレイも装備されており、モデルのクリーニングプロセスを継続的に監視できます。DCS 1460は、水の消費量を最小限に抑えて基板を洗浄するために設計された信頼性の高い効率的なウェーハおよびマスクスクラバーです。その高度な機能には、上下スプレー装置、フラットクリーニングプレート、広いクランプ環境、直接接続フローチャネルを備えたストレージタンク、および3Dカラービューディスプレイを備えた直感的な制御装置が含まれます。ユーザーフレンドリーなデザインとカスタマイズ可能な設定の範囲で、DISCO DCS 1460は優れた洗浄効率と高い生産性を提供します。