中古 DISCO DCS 141 #9382803 を販売中

ディスコDCS 141は、高性能で信頼性の高い洗浄プロセスを提供する革新的なウェーハおよびマスクスクラバーです。それは最高のプロセス柔軟性および優秀な汚染および入り口の粒子の取り外しのための高度のモジュラー設計を特色にします。DISCO DCS141は、半導体および電子機器業界で要求の厳しい洗浄プロセスのために特別に設計されています。DCS 141は、2段階のスクラビングプロセスに基づいています。まず、ブラシを使用してウェーハやマスクの表面をきれいにし、洗浄剤をより深く浸透させ、包括的な表面洗浄を実現します。その後、残留粒子状物質を除去し、表面に傷などを残さずに明るく清潔な仕上がりを実現する高効率な微細研磨装置を採用しています。また、スクラバーには自動キャリブレーションシステムが搭載されており、印加された圧力を正確に調整し、望ましい粒子レベルで優れた短期および長期の洗浄性能を実現します。このスクラバーは、インターロック制御装置を備えた完全な封じ込めユニットや、異常が発生した場合の自動緊急シャットダウンなどの強化された安全機能を備えています。スクラバーには、機械操作を簡素化する直感的なユーザーインターフェイスと、すべてのプロセスデータの詳細なトレーサビリティのための組み込みデータロギングツールもあります。衛生要件に関しDCS141は、プロセス材料と室内環境との接触を保証しない特別なポンプ設計が付属しています。また、洗浄工程で使用される水を除去するための3段階のろ過アセットと、環境に存在する可能性のあるほこり、リント、およびその他の材料を備えています。ディスコDCS 141は、多様性を高めるさまざまなアップグレードとオプションを誇っています。これらには、加圧洗浄、さまざまなリンスオプション、およびより効率的で環境に優しいプロセスのための再循環されたウェハチャックが含まれます。スクラバーには、オプションのタンク付きクリーニングと、より大きなウェーハ用のウォッシュスタンド長さが付属しています。DISCO DCS141は、ウェーハやマスクスクラビングアプリケーションに最適なソリューションです。先進的な設計、高性能、および優れた結果により、半導体およびエレクトロニクス用途に最適なソリューションです。DCS 141は信頼性が高く、効率的で安全なソリューションであり、あらゆる洗浄環境で優れた性能を保証します。