中古 DISCO DCS 141 #9377224 を販売中

DISCO DCS 141は、さまざまな半導体生産アプリケーションで使用するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。ウェーハやマスクサイズの広い範囲で使用できるように設計されています。ディスコDCS141には2つのスクラビングヘッドが装備されており、エッチング、成膜、ストリッピング、イオン注入など、幅広いプロセス手順を実行できます。スクラビングヘッドにより、マシンは上部と下部の両方からウェーハとマスクを同時にスクラブすることができます。このプロセスは、制御可能な接触圧力と自動化されたサイクルタイムで実行されます。DCS 141に容易なセットアップおよび操作を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスがあります。ボード上にプリスクラビングステーションがあり、スクラビング操作前にウェーハとマスクを清掃して準備します。これにより、スクラビングプロセスが適切に実行されます。DCS141は、ウェーハやマスクを洗浄するだけでなく、チャンバー、治具、および周辺地域を清掃する機能を備えています。また、治具や基板に深く浸透して部品の内部や外装をきれいにする機能もあります。このプロセスは、調節可能な周波数と圧力、および高いフラッシュ温度で実行されます。ディスコDCS 141は、大容量の半導体業界での使用を想定して設計されており、大量のウェーハやマスクを一貫した品質で処理することができます。温度モニター、圧力センサー、緊急時に機械をシャットダウンする自動停止システムなど、いくつかの安全機能を備えています。DISCO DCS141はコンパクトで費用対効果が高く、さまざまなプロセスを実行するように構成することができます。効率的なウェーハおよびマスクスクラブ操作に最適なソリューションです。