中古 DISCO DCS 141 #9361774 を販売中

ディスコDCS 141は、デジタルコンポーネントの製造に使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。半導体マスクやMEMSやLED構造などのデバイスを洗浄するために、化学技術と機械技術を組み合わせて動作します。ディスコDCS141は、基板表面から汚染物質を除去し、より良い電気性能と清潔さを提供します。スクラバーは、ロボットアームなどの機械部品を内蔵した完全自動化された装置で、敏感な基板を効果的に洗浄できます。MOTORMASTERユニットは、DCS 141の主な機構です。ロボットアームやスクラバーのその動きやウェーハ全体の回転を含むその他のコンポーネントを制御する責任があります。高精度のリニアモータによりリニアモーションを実現し、正確で正確なスクラブを実現します。DCS141は、手動または自動の2つのモードで動作できます。自動モードでは、システムは同時または複数のウェーハ洗浄プロセスのためにプログラム可能です。これにより、処理のために送信されるウェーハの数に関係なく、一貫したスクラブ品質が保証されます。スクラバーには革新的なスクラビングヘッドもあります。ヘッドには、水性界面活性剤クリーニングユニットと回転ブラシ機があり、両方とも効率的なクリーニングプロセスを提供するように設計されています。回転ブラシツールは、ウェーハを損傷することなく粒子残留物を除去する穏やかな機械的スクラブ動作を提供します。水性界面活性剤の洗浄資産は、敏感な半導体基板に安全に使用できるように設計された特殊洗剤を使用しています。ディスコDCS 141には、スクラバーの寿命を延ばし、メンテナンスを容易にするフィルタリングモデルも含まれています。粗く、中、細かい3層からなるアフィルターは、ウェーハに損傷を与える可能性のある空気から粒子、ほこり、その他の粒子を除去するために使用されます。さらに、汚泥ポンプが装置に組み込まれ、ウェーハからスクラブされた汚れや破片を取り除きます。ディスコDCS141は全体的に効率的なウェーハとマスクスクラバーで、清潔さを保ちながら高感度の基板を確実に洗浄できます。ロボットアーム、プログラマブルクリーニングプロセス、クリーニングシステムなどの高度な機能により、最高の清浄度と精度を必要とする生産プロセスに最適です。