中古 DISCO DCS 141 #9361773 を販売中

DISCO DCS 141は、半導体デバイス向けの自動高スループット洗浄ソリューションを提供するために特別に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。あらゆるタイプのウェーハやマスクを洗浄し、最適な機能と性能を確保するように設計されています。DISCO DCS141は、2つのスクラビングガードレールを備えたシングルスパンスクラバーです。調節可能なガードレールは、丸い、正方形、八角形、または両面ウェハに使用できます。彼らは洗浄プロセスを通してウェーハ/マスクを導き、精密でさらにスクラブを確実にするのに役立ちます。DCS 141は、さまざまなウェーハおよびマスクサイズに対応するために、特定の設定用にプログラムすることができます。DCS141は、堅牢なクリーニングソリューションであるInfinichemを使用して、ウェーハやマスクをスクラブします。このオールインワンクリーニングソリューションは、洗浄だけでなく、ウェーハ/マスク表面を消毒して潤滑します。SCS 141は、最適な洗浄のための洗浄液の濃度を正確に制御します。処理を容易にするために、DISCO DCS 141は2つの独立した部屋を含んでいます；ぬれたクリーニングプロセスのための1つおよび乾燥のための他。ウェットクリーニングプロセス中、インフィニケムの液滴は、効率を犠牲にすることなく、最大のクリーニングカバレッジが達成されることを確実にするために、プログラミングによって指示された2つのヘッドから排出されます。デュアルレベルのクローズドループスクラビング設計により、一貫した再現性のある洗浄結果が得られます。乾燥チャンバーには、ホットエアスピナーを使用して残留洗浄剤を排除し、ウエハやマスクの溶解を避けます。DISCO DCS141には、ユーザーフレンドリーで効率的な機能がいくつかあります。12インチのタッチスクリーンを備えており、変更の設定、手動モード操作、障害トラブルシューティング、および包括的なクリーニングデータ収集を可能にします。さらに、自動ホース管理システムを備えており、スクラバーのクリーニング作業中にホースが絡むのを防ぎます。全体として、DCS 141は業界をリードするパフォーマンスで優れた洗浄結果を提供します。これは信頼性が高く使いやすいシステムで、一貫した反復可能な結果を持つ高スループットクリーニングソリューションを探している半導体メーカーにとって理想的です。