中古 DISCO DCS 141 #9361627 を販売中

ディスコDCS 141は、優れた洗浄結果を提供するように設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。ブラストクリーニング技術とブラシ洗浄技術を組み合わせて、ウェーハやマスクからほこりなどの汚れを効果的に除去する強力な真空システムを搭載しています。12インチのウェーハ/マスクホルダーと可変スピードスクラビングアームを備え、片面洗浄と両面洗浄の両方に最適な結果を提供します。ウェハスクラバーとマスクスクラバーは、1回のパスで高効率の洗浄結果を達成することができ、数秒で幅広い残留物とサイズが除去されます。DISCO DCS141は完璧な洗浄を提供するように設計されており、自動化されたスクラビングサイクルにより、さまざまな速度と時間を設定でき、ユーザーはさまざまな材料や汚染物質の洗浄プロセスをカスタマイズすることができます。このユニットには、特定のジョブの正しいブラシの種類を正確に検出する自動ブラシ検出機能も含まれています。ウェーハとマスクスクラバーには、ブラシをきれいにしたり交換したりするときにオペレータに警告するプログラム可能なアラームもあります。スクラバーは安全性を念頭に置いて設計されており、インターロックのいずれかが作動した場合に動作を停止するインターロックを備えています。さらに、バランスの取れたエアアウトレットを装備し、ウェーハ全体とマスク面の均一な気流を保証し、効果的な粉塵除去を実現しています。スクラバーの設計はまた、さまざまなアプリケーションに最適な空気流量を可能にする調整可能な空気供給バルブを備えています。最高品質の結果だけを保証するために、DCS 141ウェーハとマスクスクラバーには、クリーニングプロセスに関する詳細情報を表示するユーザーフレンドリーなLCDコントロールパネルが装備されています。追加のセキュリティ機能として、このユニットは、電源を切ったときにスクラバーからすべての残留圧力を自動的に解放する安全弁を備えています。DCS141ウェーハとマスクスクラバーは、ほこりや汚染物質を除去するための信頼性が高く効率的なソリューションです。その強力な真空ベースのシステム、さまざまなスクラビング速度、そして使いやすいコントロールパネルにより、このスクラバーはあらゆるウェーハおよびマスク洗浄設備に必須です。