中古 DISCO DCS 141 #9355561 を販売中

ディスコDCS 141ウェーハおよびマスクスクラバーは、高度な半導体ウェーハおよびマスククリーニング用途に使用するために設計された精密洗浄装置です。このシステムはクリーンルーム用に設計されており、水、溶媒、アンモニアなどの様々なスクラブ材料と互換性のある自己完結型スクラビングモジュールを備えています。スクラビングモジュールには温度制御されたバスが装備されており、一貫したスクラブ動作を保証するために4方向圧力バランス弁を使用しています。スクラビングユニットは、1サイクルで最大100枚のウェーハまたはマスクをスクラブすることができます。スクラビングプロセスは、ウェーハまたはマスク表面からほこり、汚れ、およびその他の表面汚染物質を除去するために脱イオン水のシャワーで始まります。これに続いて、ウェーハまたはマスク表面をさらに洗浄するための水溶液を備えたプリソークが続きます。プロセスの3番目のステップは、ウェーハまたはマスク材料に応じて具体的に選択された様々なスクラブ剤を使用して行われる実際のスクラブです。スクラビングプロセスは、残りのスクラブ剤が完全に洗い流されることを確実にするために、アフターリンスサイクルで完了します。機械の他の特徴には、ウェーハまたはマスクをスクラビングプロセスを介して移動するための調整可能な速度のコンベアベルト、およびツールの簡単な監視と制御のためのPCベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があります。この資産には、作業中の作業者の安全を確保するために設計された多数の安全機能も含まれています。これらの安全機能には、蓋が開いているときのスクラブ操作を防止する安全インターロックと、スクラビングチャンバー内の過度の圧力蓄積を防ぐための圧力リリーフバルブが含まれます。DISCO DCS141は、大量生産環境での使用を想定して設計されており、正確かつ再現性の高い結果を必要とするウェーハおよびマスククリーニングアプリケーションに最適です。高精度の技術と堅牢な安全対策を組み合わせることで、最高レベルのウェーハやマスクの品質を維持するのに役立つ信頼性の高い効率的な洗浄ソリューションです。