中古 DISCO DCS 141 #9312489 を販売中

DISCO DCS 141は、半導体製造のための高効率で費用対効果の高いウェーハおよびマスクスクラバーです。革新的な技術を備えたベルト型のツールで、ウェーハ、基板、ウィンドウマスクの自動的かつ正確な洗浄を提供するように設計されています。ディスコDCS141には、大気オゾンの拡散のための微細なパターン化されたコンベアベルトが装備されており、一貫した信頼性の高い洗浄性能を提供します。DCサーボモータとベルトドライブシステムによって駆動され、正確かつ正確な処理を保証します。さらに、その水力動的に最適化された洗浄力と除去率のためにオゾンを流れます。DCS 141は、1時間あたり最大1,000個のウェーハ処理が可能なため、大規模な生産に最適です。それは最適なクリーニングを達成するためにぬれた、乾燥したスクラブのプロセスの使用のために適しています。ウェットスクラビングプロセスは、技術的に高度で高効率なフラッシングメカニズムに基づいています。これには、ウェーハ全体に均一で一定の水流を生成するように構成されたノズルからなるシャワーユニットが含まれています。乾式スクラビングプロセスは、高感度プロセスやサイクル時間の短いプロセスに適した大気ベースのオゾンプロセスを使用します。濡れた乾燥したスクラブに加えて、DCS141はエッチングと振動洗浄機能も提供します。高性能な空気圧アクチュエータを搭載し、最大55Hzの振動周波数に到達し、表面タイプに関係なく強力な攻撃性を提供します。さらに、2つの独立したエッチングチャンバーと2つのエッチングソリューションを備えています。これにより、2種類のエッチング技術を同時に使用することができ、優れた洗浄性能を提供します。DISCO DCS 141には、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスとワークフロー管理システムを提供する高度なソフトウェアパッケージが装備されています。重要なプロセスパラメータを使用してエラーを検出、監視、報告することができます。さらに、パラメーター設定メニュー、内蔵診断、オンラインサポートシステムも備えています。DISCO DCS141は、高度なウェーハおよびマスクスクラバーであり、信頼性、効率、費用対効果の高いハイエンド性能を提供します。1時間あたり最大1,000枚のウェーハを処理できる自動洗浄機能により、大規模な生産に適しています。革新的な技術、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイス、高度なソフトウェアパッケージにより、最小限の労力で優れた洗浄性能を提供できます。