中古 DISCO DCS 141 #9302502 を販売中

ディスコDCS 141は、マイクロエレクトロニクス業界の最高の要件を満たすように設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。ウエハとマスクの両方の基板を研磨することができ、優れた結果が得られます。ディスコDCS141は、最大450mmのウェーハサイズと最大610mmのマスクサイズに対応できる先進的なデザインを取り入れています。この柔軟性により、スクラバーを幅広い用途に使用できます。DCS 141は、2段階のスクラビングプロセスを利用しています。まず、ウェーハにH2O2プリクリーニングを施し、研磨粒子や埋め込み有機残留物を除去します。これに続いて、優れた湿潤性能のために超音波キャビティ攪拌技術を利用した改善された洗浄ソリューションに基づいた洗浄サイクルがあります。最適化されたソリューションは、表面の損傷を最小限に抑えながら、ウェーハ表面の清潔性を高めるために特別に配合されています。DCS141には、基板のサイズとタイプごとに最適な処理パラメータを自動的に計算する高度なスクラバー制御システムもあります。このシステムは、最適なスクラブ結果を保証し、オーバースクラブまたは不十分なクリーニングによる損傷を防ぐのに役立ちます。ディスコDCS 141の堅牢な構造と密閉されたプロセスチャンバーは、ほこりのない環境を提供し、頻繁なメンテナンスとサービスの必要性を低減します。また、洗浄液の流れを自動制御し、ウォーターフィルタリングシステムを使用して浮遊粒子を除去することで、汚染を最小限に抑えるように設計されています。DISCO DCS141は、ウェーハやマスク基板をスクラブするための理想的なツールであり、現代のマイクロエレクトロニクス業界の需要に信頼性と経済的なソリューションを提供します。その高度な設計と優れた結果は、生産ラインの自動スクラバーをお探しの方に最適です。