中古 DISCO DCS 141 #9232877 を販売中

ディスコDCS 141は、半導体ウェーハやフォトマスクの加工用に設計された汎用性の高いウェーハおよびマスクスクラバーです。その主な目的は、両方の製品の表面から微粒子を除去し、最適な性能を確保することです。最先端の洗浄技術を組み合わせ、幅広い素材や用途で高い清浄性を実現しています。このシステムは、ウェーハスクラバーとマスクスクラバーの両方で構成されており、それぞれが特定の材料タイプと最終用途に最適化されています。ウェーハスクラバーは、ロボットアームによって操作される石英ブラシユニットを使用して、プラスチックタンク内のウェーハから表面粒子をスクラブします。スクラブは、超音波波が浮遊粒子を振動させてウェーハ表面から取り除く超音波洗浄を利用しています。粒子はプラスチックタンクに集められ、次に排出され、集められます。マスクスクラバーは、マスクの表面に洗浄溶剤を噴霧超音波ノズルを使用しています。材料や用途に応じてさまざまなスプレーと真空設定があり、マスクの粒子が最も効果的に除去されることを保証します。洗浄液は容器に回収され、安全で環境にやさしい方法で処分されます。両方のスクラバーの部品は粒子の取り外しの有効性を保障するのにクリーニングの液体としてDIの水を使用します。この機械は、DI水、アセトン、イソプロピルアルコールなど、さまざまな洗浄溶剤と互換性があります。高度な設計により、温度や圧力などのさまざまなプロセス条件が最適な洗浄結果を保証できます。このツールには、障害検出機能も内蔵しています。プロセスのあらゆる検出された問題の場合には、それは問題の技術者に知らせる警報を送ることによってこれを報告できます。これにより、クリーニングプロセスがスムーズに実行され、結果の永久的な記録があることが保証されます。DISCO DCS141は直感的なユーザーインターフェイスも備えており、活動を簡単かつ簡単に管理できます。全体として、この資産は、半導体製品とフォトマスクの両方の範囲にわたって、長期的で効率的な洗浄性能を提供するように設計されています。