中古 DISCO DCS 141 #9221323 を販売中

ディスコDCS 141は、集積回路（IC）の製造に使用されるウェーハとマスクの両方から粒子を除去するために設計された3段階の洗浄装置です。最小限のスペース、エネルギー、時間を利用しながら、最も厳しい基準を満たすことができる清潔度レベルを提供します。DCS 141Cleanerは3つの主要な段階から成っています；ケミカルバス、機械式洗浄装置、乾燥システム。ケミカルバスは、液体を洗浄するための精密搬送および回収機を含む統合ユニットです。強力で水分を節約するエアロゾル技術を使用して、ウェーハまたはマスクから粒子や汚染物質を迅速かつ効率的に除去します。機械的スクラビングツールは、高度な制御アルゴリズムを使用して、振動が低く、ほこりが少ない高効率の研磨洗浄プロセスを提供します。最後に、乾燥資産は、ウェーハとマスクの両方の表面を迅速かつ正確に乾燥させるために一連の赤外線加熱素子を使用します。従来のスクラブ方法と比較して、DCS 141Cleanerは最先端の洗浄性能を提供し、エネルギー、スペース、時間要件を削減します。さらに、内蔵の安全機能は、サブパーパーパフォーマンスの兆候を検出し、オペレータにそれに応じて警告することができます。DCS 141Cleanerは、すべての標準的なマスクおよびウェーハサイズに対応するように設計されています。モジュラー設計で、ウェーハサイズに応じてマスクの比率を変えることができます。ユニットは、単一のオペレータのみを必要とし、移動、インストール、設定、操作、メンテナンスが容易です。全体として、DISCO DCS 141Cleanerは、シンプルな操作と最小のエネルギー、スペース、および時間要件で効果的で一貫したウェーハおよびマスククリーニングを提供する画期的なデバイスです。高度なクリーニングモデルと安全機能を備えたDCS 141Cleanerは、最も厳格なクリーニング基準にも対応し、信頼性の高いクリーニング性能を提供し、最終的にはIC生産の品質と効率を向上させます。