中古 DISCO DCS 141 #9148551 を販売中

ディスコDCS 141は、ディスコ株式会社の高性能ウェーハ&マスクスクラバーです。フォトマスク、ウェーハ表面、その他の半導体製造プロセスのハード面の洗浄に使用されます。クリーンな液体ジェット、ブラシ、ドライスプレー装置を使用して、プロセス残留物、空気中の微粒子、フォトレジストの薄膜を除去します。ディスコDCS141は、高圧液体を使用してウェーハやフォトマスクの表面をスクラブします。この液体を真空システムで除去し、熱風乾燥機で表面を乾燥させます。このプロセスは「ホットエアスクラブ」として知られています。これは非常に高いレベルの清潔さを可能にし、次のプロセスの前に表面に粒子や有機残留物が残らないようにします。機械に洗浄された表面の点検のための統合されたカメラユニットが、あります。これは、表面が必要な標準に洗浄され、欠陥や残留物が残されていないことを確認するために使用されます。この検査技術は最高レベルであり、高い清浄度を保証します。マシンは完全に自動化されており、使用するたびに一貫した結果が得られます。カスタマイズ機能を備えており、ユーザーはさまざまなタスクの設定をカスタマイズすることができます。また、DCS 141は使いやすく、メンテナンスも容易な設計となっており、半導体製造設備に最適です。RoHSに準拠し、VSPCによって認定されているため、環境や安全上のリスクがないことを保証します。全体として、DCS141は高度なウェーハとマスクスクラバーで、高いレベルの性能、清潔さ、カスタマイズ、信頼性を提供します。それはあらゆる種類の堅い表面をきれいにする安全で、有効な方法を提供し精密および高いレベルの清潔さが最も重要である設備のために理想的です。