中古 DISCO DCS 141 #9119563 を販売中

ディスコDCS 141ウェーハ&マスクスクラバーは、繊細なウェーハとマスクサーフェスを安全かつ信頼性の高い方法で洗浄します。この機械は一貫した、信頼でき、反復可能なプロセスと敏感な表面の両側を自動的にきれいにすることができます。3つの独立したスクラバーユニットを備えており、それぞれに個別のスクラバーヘッドがあり、最適な結果に必要な正確なクリーニングパラメータを維持するのに役立ちます。スクラビングプロセスは、3つの独立したスクラバーヘッドの最初の部分からウェーハに供給することから始まります。ここでは、洗剤液と化粧ブラシで事前洗浄し、表面に存在する可能性のあるより大きな汚染物質を除去することができます。その後、ウェーハは2番目のスクラバーヘッドに移動され、洗浄室に渡される前に、より強力な洗剤がウェーハに塗布されます。ここで、ウェーハは洗浄液の霧によって接触し、3次元スクラブパッドでスクラブします。これは、ウェーハの表面に残る付着汚染物質を除去するのに役立ちます。ユニット内の3番目のスクラバーは、洗剤の液体とブラシの洗浄作用を組み合わせてプロセスを終了させ、ウェーハとマスク表面に残っている残留物を溶解させるのに役立ちます。洗浄サイクルは、タッチパネルコントローラを介して制御され、スクラビングパラメータへの完全なアクセスを可能にし、精密な操作と最適化を提供します。ディスコのDCS141には、ウェーハやマスクスクラビングプロセス中に発生する潜在的な傷や表面の損傷を防ぐための多数の安全機能が装備されています。スクラビングプロセス中に過度の力が加わることからウェーハを保護するための安全停止が含まれています。さらに、スクラバーは、ウェーハがいつクリーニングサイクルから外れているかを検出し、それに応じてシャットオフすることができ、安全な動作を保証します。DCS 141は業界最高のウェーハおよびマスクスクラバーの中にあり、安全性、正確性、再現性を完璧に兼ね備えています。効率的で信頼性の高い洗浄プロセスにより、幅広い用途に最適です。包括的な安全機能により、ウェーハとマスクの表面を保護しながら優れた結果をもたらし、DCS141はあらゆるファブまたはプロセスラインの貴重な部分となります。