中古 DISCO DCS 141 #9108948 を販売中

ディスコDCS 141は、様々な基板の精密かつ効率的な洗浄のために設計された完全に自動化されたウェーハおよびマスクスクラバーです。半導体製造工程で使用されるウェーハ、マスク、その他の部品の多種多様な研磨・研磨が可能です。スクラバーマシンは、高効率、高速スクラビングヘッド設計を備えており、均一な洗浄プロセスを保証します。それは直径の200mmまでウェーハおよび0。3mmまでの厚さを受け入れることができます。遠心力発電機は、ディープスクラブと研磨のための十分な圧力と速度を生成することができます。スクラバーはDI水として使用され、pHは7。1から8。5まで、洗浄液として使用されます。クリーニングプロセスはプロダクト変数および基質の指定に従って自動的に磨く圧力および回転速度を調節する統合されたコントローラーと完全に自動化されます。安全のため、電源や水の問題が発生した場合には、機器が自動的にシャットダウンします。DIウォーターシステムは、スクラビングプロセス中に気泡や粒子を検出し、ウェーハへの転送を防止するように設計されています。その結果、洗浄プロセスは非常に効果的であり、より高い収率を生み出します。DISCO DCS141には、廃棄物管理ユニットが統合されており、スクラブ工程で発生した廃棄物の容易な回収と処分が可能です。これにより、規制への準拠が保証され、異なる基板間のクロスコンタミネーションが防止されます。DI水を長期間再利用できるオイルリサイクルユニットも付属しています。廃棄物管理機は、スクラブや研磨に使用される有害または消耗品の消費を削減するのに役立ちます。さらに、操作パネルが使いやすく、さまざまな製造アプリケーションで簡単で直感的なセットアップが可能です。調整可能なモーションツールと偏向センシング技術により、バリエーションを最小限に抑えて複数のタイプの基板を効率的に洗浄できます。スクラビングヘッドも正確な構成のために設計されており、要件に応じて簡単に変更または交換することができます。全体として、DCS 141は半導体業界のさまざまな種類のウェーハおよびマスクのクリーニングの適用のために設計されている信頼でき、有効なスクラバー機械です。ユーザーフレンドリーな操作、自動化された資産、および統合された廃棄物管理モデルにより、あらゆる精密ウェーハおよびマスク洗浄プロセスに最適です。