中古 DISCO DCS 141 #293820790 を販売中
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ディスコDCS 141は、ディスコ株式会社の子会社であるエレクトロニクス・テクノロジー株式会社ディスコが設計したウェーハ・マスクスクラバーです。この最先端のスクラバーにより、製造に使用されるウェーハやマスクから素早く信頼性の高い粒子を除去できます。DISCO DCS141は、回路パターンから汚染物質を素早く簡単に除去できる高性能ジェット機構を備えています。このスクラバーは、シリコンチップやアルミナから酸化物やパッシベーション層まで、直径150mmまでの高感度な基板や、あらゆるタイプのウエハータイプを処理できます。さらに、このスクラバーは、厚くて凹凸のある形状の洗浄や、生産ラインマスクに最適です。スクラバーにはシンプルで使いやすいユーザーインターフェイスがあり、操作と監視が簡単です。その高速ウェーハインデクサは、洗浄前に正確な基板位置決めと正確なアライメントを保証します。スクラバーは、傷や汚れを軽減するために、ウェーハやマスク表面との接触を避けるために、内蔵のドライサクションシステムを備えています。また、スクラバーには統合された温度制御システムがあり、洗浄プロセス全体で基板を最適な温度に保つのに役立ちます。安全性の観点から、DCS 141には自動安全遮断機能が搭載されており、異常な高温やその他の不規則性を検出した場合、直ちにクリーニングプロセスをオフにします。スクラバーはまた、運転中に分散した空気中の微粒子の量を制限するのに役立つ、ほこりのない振動減衰構造で設計されています。全体として、DCS141は、信頼性が高く、強力なデザインとシンプルなユーザーインターフェースを備えた工業的に評価されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは非常に速く、正確で、安全です、基質のクリーニングができるだけ有効、完全であることを保障します。DISCO DCS 141を使用することで、生産ラインには欠陥が少なく、基板をクリーンにすることができます。
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