中古 DISCO DCS 141 #293807257 を販売中

ディスコDCS 141は、チップ製造業界で使用するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。繊細なウエハやマスクを複数の基板から完全に洗浄・洗浄できる高度な洗浄装置を備えています。また、DISCO DCS141は、シングルサイクルで最大40個の半導体ウェーハを処理できるため、大量生産に最適です。スクラバーは、パルス化学蒸着（CVD）洗浄技術とブラシと研磨ウエハを使用した2段クリーニングチャンバーで構成されています。この高度なシステムは、徹底的かつ一貫した洗浄プロセスを提供します。最初の段階では、CVDのクリーニングの技術はウェーハおよびマスクの表面に粒子および汚れを分解する泡を沈殿させます。次に、ブラシと研磨ウェーハを使用して、第2段階で泡を取り除きます。これにより、基板からの不純物や破片を除去し、材料への潜在的な損傷を最小限に抑えることができます。DCS 141には、チャンバー内の相対湿度レベルを検出できる統合湿度センサーも装備されています。これにより、プロセスをより良く制御でき、ウェーハとマスクが適切な水分レベルにさらされることを保証します。さらに、スクラバーにはマルチモード動作モードがあり、異なるワイプ時間とレベルの洗浄強度を可能にし、幅広い動作条件を可能にします。さらに、DCS141にはユーザーフレンドリーなLCDスクリーンと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、オペレータにクリーニングプロセスに関する詳細な情報を提供します。スクラバーには、強化されたタスクワークフローと、プロセスの状態を監視するのに役立つ診断ユニットもあります。これは、スクラバーを介して処理される材料の一貫した品質を確保するのに役立ちます。ディスコDCS 141は、繊細な基板を簡単かつ一貫性のある加工が可能な信頼性の高い効率的なウェーハおよびマスクスクラバーです。その高度な洗浄機は、あらゆるサイクルで最適な結果を提供するように設計されており、チップ製造施設に最適です。