中古 DISCO DCS 141 #293805292 を販売中

ディスコDCS 141は、クリーンルーム用に特別に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。半導体設備のニーズに合わせて設計された信頼性の高い機械です。DISCO DCS141は、迅速かつ効果的に洗浄ウェーハだけでなく、アスマスク、レチクル、および他のコンポーネントを洗浄するように設計された完全自動化されたシステムです。このマシンは、ウェーハスクラビングモジュール、ウェーハ乾燥モジュール、マスクスクラビングモジュールなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ウェーハスクラビングモジュールは、ウェーハ表面から粒子を除去するように設計されたコランダムスクラビングホイールで構成されています。また、ウェーハをすすぎ洗浄するために使用される洗面台も含まれています。ウェーハ乾燥モジュールは、洗浄後にウェーハを完全に乾燥させるファンタイプの乾燥機です。最後に、マスクスクラビングモジュールは、マスクをスクラブするために特別に設計されたツールとブラシのキットで構成されています。DCS 141は手動モードまたは自動モードで操作できます。手動モードでは、オペレータはスクラブと乾燥プロセスの速度を制御します。自動化モードでは、マシンは、必要に応じて調整し、最適化することができ、事前に定義されたプログラムに従って動作します。機械にまたプロセスの各ステップのための最適なクリーニングの時間を自動的に計算する作り付けのクリーニングの時間プログラムがあります。DCS141は、スクラブおよび洗浄プロセス中の潜在的な汚染を最小限に抑えるように設計されています。オールステンレス製の部品で構成されており、スクラビングツールも耐久性と耐食性に優れた素材で作られています。ユニット内を流れる空気もHEPAフィルタリングされており、水や粒子が作動領域に入るのを防ぐための排水システムが内蔵されています。ディスコDCS 141は、半導体およびクリーンルーム設備のニーズに合わせて設計された、信頼性の高い効率的な機械です。それは速く、費用効果が大きく、作動すること容易です。スクラブ洗浄プロセスは完全に自動化され、汚染を最小限に抑えるように設計されているため、クリーンルーム環境での使用に安全で信頼性があります。最後に、マシンはユーザーフレンドリーな機能の広い範囲で設計されており、簡単に操作し、維持されるように設計されています。