中古 DISCO DCS 141 #293793929 を販売中

ディスコDCS 141は、効率的で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーで、さまざまな生産アプリケーションの要求に対応できます。シリコンウェーハやフォトマスクの表面を優しく洗浄し、その構造、特性、安定性を維持するように設計されています。その洗浄特性は、ストイチオメトリックエッチングやクリーンプロセス、半導体生産のための基板薄化、成膜、接合、脱縫いなど、さまざまな用途に適しています。ディスコDCS141スクラバーは、バッチまたはシングルピース構成で、最大直径7インチ、最大200コンポーネントのウェーハを取り扱うことができます。装置の洗浄室は開閉が容易で、使いやすくメンテナンスも簡単です。チャンバーは、異なる洗浄ソリューションを収容することができ、損傷を引き起こす可能性のある化学物質や汚染物質のしぶきを防ぐ深い洗面器で設計されています。また、クリーニング中にウェーハやコンポーネントを安全かつ確実に把握して保持する空気圧回収装置も備えています。堅牢なDCS 141スクラバーには、伝統的なスクラビング技術に優れた高効率なテンションコントロールユニットが内蔵されています。ウェーハとスクラビング素子の間の圧力を正確に維持し、摩耗を低減し、ウェーハ反りの可能性を排除するように設計されています。スクラバーには、スクラブ条件を簡単かつ正確に調整できるシングルポイントデジタルキャリブレーションも含まれています。DCS141スクラバーは高性能のスラリーのスクラビングアームが装備されています、頻繁なフィルター変更のための必要性なしで優秀なクリーニングの結果を提供します。制御ホイールは、スクラブの動作を微調整するために使用できる圧力と速度を簡単に調整することができます。これにより、さまざまなアプリケーションや基板に異なる圧力設定を使用することができます。DISCO DCS 141は、安全性と利便性を考慮して設計されています。効率的なろ過ツールは、粒子や汚染物質を除去し、スクラバーの環境を監視することが容易になります。このアセットには、自動シャットダウンと自己診断モニタリングも備えており、発生する可能性のある機械的な問題をユーザーに警告します。これらのすべての機能により、DISCO DCS141は効率的で信頼性が高く、ウェーハとマスクスクラバーを簡単に維持できます。