中古 DISCO DCS 141 #293793533 を販売中

DISCO DCS 141は、半導体加工業界のシリコンウェーハやレチクルの洗浄用に設計されたシングルチャンバー型クローズドループスクラバーです。高精度と高精度を維持しながら、敏感な材料を洗浄するという課題に費用対効果の高いソリューションを提供します。ディスコDCS141は、クリーニング中に最大3つの6インチ（15 cm）ウェーハまたは2つの10インチ（25 cm）ウェーハを安全に保持できるメインチャンバーを備えています。脱イオン水の穏やかなマルチアクションスプレーと機械スクラブと化学エッチングの研磨液により、材料の表面が損傷なく適切に洗浄されます。DCS 141のチャンバーは、シンプルでありながら非常に効果的な空気乾燥装置と破片収集システムで設計されています。空気乾燥ユニットは、材料の水分蓄積を防ぐのに役立ち、破片収集機は、洗浄プロセス中に変位した粒子を収集します。メインチャンバーには、三相紫外線ライトツールが使用され、存在する可能性のある微生物や細菌を排除するのに役立ちます。DCS141は、安全でほこりのない輸送資産を備えており、材料を次の洗浄または処理段階に安全かつ確実に輸送します。このモデルは、プロセス間の移動中にウェーハとレチクルが清潔で無傷であることを保証するのに役立ちます。DISCO DCS 141のユーザーインターフェイスは、すばやく簡単に操作できるように設計されています。ユーザーは事前にプログラムされたコマンドを選択するか、単にコードを入力してスクラビングプログラムをカスタマイズすることができます。内蔵の診断機器を使用して、操作中に発生する可能性のある問題をトラブルシューティングできます。全体的に、ディスコDCS141は、高精度で正確なウェーハやレチクルの迅速かつ効率的な洗浄を必要とするあらゆる状況に最適です。空気乾燥および破片収集システムは、材料の所望の清潔さを維持するのに役立ちますが、直感的なユーザーインターフェイスは事前にプログラムされたコマンドとカスタムプログラムの両方を可能にします。