中古 DISCO DCS 141 #293767270 を販売中

ディスコDCS 141は、ウェーハやマスクなどの大型基板の精密洗浄用に特別に設計された先進的なウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、材料をきれいにし、復元するために化学的および機械的作用の両方を適用する最先端のウェーハとマスクプリクリーンシステムを利用しています。スクラバーは、ウェーハとそのマスクの表面に付着した有機および粒子状汚染物質を除去するのに役立つ多段式洗浄プロセスを備えています。DISCO DCS141には、すべての汚染物質が効果的に除去されるように、化学的および機械的作用の両方を提供するクリーニングブラシ付きの真空チャンバーがあります。チャンバーには乾燥部品もあり、基板をすばやく乾燥させ、次の処理ステップに備えていることを確認します。DCS 141には、基板の特定の要件に合わせてクリーニングプロセスをカスタマイズするのに役立ちます。このシステムは、特定の温度、流量、ドウェル時間、およびスクラブ圧力の設定を可能にします。クリーニングプロセス中に基板が損傷しないようにするため、温度制御が特に重要です。スクラバーのデザインも可動性を提供し、ほぼすべての環境での使用に適しています。これは、ユーザーがある生産現場から別の場所にスクラバーを移動することを可能にするモジュラー設計を介して行われます。これにより、複数の場所でウェーハやマスククリーニングを簡単に行うことができます。DCS141は、高効率で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーで、大型基板の精密洗浄用に設計されています。多段クリーニングプロセス、カスタマイズ可能な設定、モジュール設計により、優れたクリーニング性能を提供します。これにより、忙しい生産現場に理想的な洗浄ソリューションとなります。