中古 DISCO DCS 141 #293751075 を販売中
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DISCO DCS 141ウェーハとマスクスクラバーは、半導体製造用に設計された自動洗浄機です。ディスコが開発した最新世代のウェーハ・マスクスクラバーです。これは、迅速かつ効率的なプロセスで高品質のスクラブと洗浄結果を提供するように設計されています。DISCO DCS141ウェーハとマスクスクラバーは、柔らかい泡ボンド繊維とスポンジで構成された3つのスクラバーヘッドを使用して、ウェーハとマスクの両方から粒子をきれいにして除去します。ウェーハとマスクの表面をスキャンし、スクラバーヘッドの加速力と速度を調整して、材料、サイズ、形状に関係なく一貫した正確なスクラブを確保するオートフォーカス装置を装備しています。スクラバーにはタッチレススキャンシステムがあり、表面状態を監視および記録し、スクラビングパラメータをさらに調整することができます。DCS 141は、手動スクラブを必要とせずに、ウェーハとマスクの両面をきれいにしてスクラブするように設計されています。これは、ユーザーフレンドリーなグラフィックインターフェイスを介してスクラビングプロセスの正確な制御を可能にするコンピュータ化された制御ユニットを内蔵しています。高性能で使いやすく、半導体製造に最適です。スクラビングプロセスの高い精度は、欠陥率を低減するのに役立ちます。スクラバーには、品質と一貫性を維持するためのスクラビング検証機も内蔵しています。回折ベースの検出ツールを使用して、表面の粒子を識別して分析します。また、レーザーを使用して表面の反射率を監視し、一貫した正確なスクラブを保証します。DCS141は半導体製造で使用するために設計されている信頼でき、有効なウェーハおよびマスクのスクラバーです。それは非常に正確、精密で、欠陥率を減らし、クリーニングプロセスの全面的な質を改善するのを助けることができます。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、簡単な操作が可能で、あらゆる半導体製造に最適です。
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