中古 DISCO DCS 141 #293642354 を販売中
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ディスコDCS 141は、超精密クリーンルームのエッチングとスクラブ操作を行うように設計されたマイクロプロセッサ制御ウェーハおよびマスクスクラバーです。このシステムは、マスクやウェーハなどの繊細で複雑な基板上の脱傷、脱傷、剥離、およびその他の化学処理アプリケーションに最適です。このデバイスは、処理された表面への損傷を防ぐために特許取得済みの洗浄方法を使用しています。このメカニズムは、強力なウエハスクラビングモジュールと戦略的に定義されたフォースカーブとアクティブエアフローを組み合わせて、各基板を完全かつ均等に洗浄し、最適な結果を保証します。優れた精度のDISCO DCS141ウェーハとマスクスクラバーは、スクラビングヘッドサーボを内蔵しており、安定した再現性、所定の洗浄性能を保証します。スクラバーには、簡単な機械操作と監視を提供する高解像度のデジタルオンスクリーンディスプレイ(OSD)が装備されています。また、設定をさらに簡単にする多言語メニューも備えています。そのメニューレベルは、ユーザーのニーズに応じて調整することができ、様々な機能の迅速なアクセスと最適化を可能にします。機械に内蔵された自動診断システムにより、操作の信頼性、一貫性、最適化が保証されます。それはクリーニング変数の小さい変化を検出し、最適化されたクリーニングの結果を提供するために多数の異なった要因を自動的に補うことができます。そのカスタマイズ可能なパラメータは、用途に応じて、様々な金属や他の基板のための様々な化学エッチングソリューションの使用を可能にします。DCS 141は直感的で使いやすいように設計されています。PC接続なしでも操作できるオフライン操作ソフトを搭載して出荷しています。これは、オペレータが最小限の労力で新しいレシピを作成し、特定のプロセスの結果を最適化するためにパラメーターを素早く調整できる自動教習機能を標準装備しています。さらに、DCS141は、印象的なIP65水と防塵度で、持続するように構築されています。機械の優れた耐久性のある構造は、高度な耐薬品性カバーと効率的な空気ろ過システムによって補完されます。ディスコDCS 141は、厳しい化学洗浄プロセスでも安全な動作と良好な結果を保証するために、Si、 SiO2、 SiN、 GaAsデバイスなどのエッチングを受けやすいデバイス向けに設計されています。全体として、ディスコDCS141は信頼性が高く、直感的で効果的なウェーハとマスクスクラバーであり、高精度の洗浄操作を保証します。その高度な機能により、オペレータは最小限の労力で目的の結果を迅速かつ正確に生成することができます。
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