中古 DISCO DCS 141 #293642331 を販売中

DISCO DCS 141は、半導体の生産をより迅速かつ効率的にする革新的で先進的なウェーハおよびマスクスクラバーです。ウェーハとマスクの両方を最高の速度と精度で迅速かつ徹底的に洗浄するように特別に設計されています。DISCO DCS141は、高解像度の3軸テーブル、6 ″スクラバーヘッド、および両面封じ込めユニットで構成されています。3軸テーブルにより、スクラビングプロセスを正確に管理することができ、ウェーハ表面のターゲットを絞った迅速かつ効率的な洗浄が可能です。また、独立した軸ごとの動きで、高精度を提供します。さらに、DCS 141には6 ″のスクラバーヘッドがあり、最大600rpmで動作します。これにより、厚みの異なるマスクや基板のスクラブが可能となり、アライメント、クリーニング、レチクル、プレートアタッチ、マスク研削、その他の半導体関連プロセスなどの操作に広く使用されています。この堅牢なスクラビングシステムは信頼性と高効率で、最高レベルの品質と生産時間の短縮を提供します。DCS141の両面封じ込めユニットは、通気性の高いステンレス製ハウジングに内蔵されています。これにより、粒子の放出や汚染のリスクがなくなり、ウェーハやマスクが含まれた環境で効果的に洗浄されます。これにより、人と機器の両方に高いレベルの安全性が保証されます。ディスコDCS 141は、X軸とY軸の両方で-30度から+30度のスクラブ角度まで、柔軟なスクラブ角度を提供します。それは容易に調節可能である遠足および調節可能な停止速度の広い範囲を提供します。DISCO DCS141は高度に自動化されており、ユーザーはスクラビングプロセスの目的のために最適化されたエリアを設定し、特定のスクラビングプロトコルをパターン化することができます。DCS 141は、高精度、信頼性、安全性、効率性をユーザーに提供する効率的で費用対効果の高いウェーハおよびマスクスクラバーシステムです。生産性の向上、品質の向上、半導体生産のダウンタイムの短縮に最適なツールです。