中古 DISCO DCS 141 #293629359 を販売中

ディスコDCS 141ウェーハ&マスクスクラバーは、さまざまなサイズの半導体ウェーハやマスクを効率的に洗浄してバリ取りする高性能ウェーハ&マスクスクラバーです。スクラバーは蒸気抽出装置を使用し、基板およびマスクの生産ラインで使用するために設計されています。スクラバーは、直径6インチから60インチまでのウェーハに対応でき、可変的なスクラブ圧力を備えています。スクラバーは両面スクラバーモジュールと、セパレータ、ファン、フィルター、排気ダクトからなる抽出システムで構成されています。スクラバーには、反対方向に回転する2つのスクラビングプレートが装備されており、圧力と速度のために個別に調整することができます。スクラビングプレートはステンレス製で、片側に歯付きがあり、反対側が滑らかです。これにより、ウェーハやマスクを徹底的に洗浄し、均質で高品質な表面仕上げを実現します。スクラバーには、ゴミやホコリがフィルターやウエハーやマスクに侵入するのを防ぐ抽出ユニットも装備しています。抽出機は、小さな粒子を除去するのに効果的であり、より高いまたはより低いスクラブ圧力を可能にする可変速度制御で調整することができます。スクラビングプレートも温度制御されており、クリーニングおよびバリ取りプロセスに一貫した温度を確保し、さらなる安全のために冷却することができます。スクラバーは安全のために設計されており、オペレータからスクラビングプレートを隔離するための安全ガードと、スクラバーがオフポジションにあるときだけオペレータが蓋を開けることができるようにするための蓋ロックがあります。スクラバーには、クリーニングプロセス中に最適な照明を確保するためにライトが内蔵されており、緊急時に迅速にシャットダウンするための緊急停止ボタンがあります。さらに、スクラバーは操作が簡単で、メンテナンスを最小限に抑える必要があり、内蔵の診断ツールはトラブルシューティングプロセスを支援します。DISCO DCS141ウェーハおよびマスクスクラバーは、ウェーハおよびマスクスクラビングで最高品質の効率的で信頼性の高いツールであり、柔軟性、費用対効果、安全なクリーニングを可能にします。