中古 DISCO DCS 141 #293597233 を販売中

ディスコDCS 141は、さまざまなウェーハやフォトマスクを洗浄できる最先端のウェーハ&マスクスクラバーです。直径6インチまでのウェーハとマスクの効率的で高品質なスクラブ用に設計されています。DISCO DCS141は、均一で選択的な洗浄機能を備えたウェーハおよびマスクの迅速で再現性のある正確な洗浄を提供するように設計されています。DCS 141は、高精度のエンジニアリングとカスタム構成部品を備えた堅牢なプラットフォーム設計を備えており、厳しい生産環境でも最適かつ信頼性の高い動作を保証します。スクラバーは、メインスクラバーユニット、ウェーハ/マスクテーブル、持ち上げおよび整列ユニット、およびコントローラーシステムで構成されています。スクラバーはユーザーフレンドリーなタッチパネルインターフェイスによって制御され、ユーザーはアプリケーションの要件に最も適したスクラバー速度、ガス圧力、クリーニング時間などのパラメータをカスタマイズできます。スクラバーには2段階のろ過システムと完全に統合されたスクラビングプロセスが装備されており、最高品質と均一な洗浄が可能です。スクラブ工程では、イオン化された窒素と特別に配合された洗剤がウェーハまたはマスクに噴霧され、潜在的な汚染のない接触点を含むウェーハ/マスクのすべての表面をスクラブすることができます。さらに、DCS141は、不要な機械的摩耗を排除し、反復可能な性能を保証する革新的なスクラビングモーション設計を組み込んでいます。DISCO DCS 141スクラバーは、クロム、クロムフリー、クロムシリコンなどの様々な種類のリソグラフィマスクの非常に正確な洗浄を提供するように設計されています。また、フォトリソグラフィの重要な要件を満たすために出荷前にフォトマスクを効果的に乾燥させる高信頼性および低メンテナンス熱気乾燥技術を備えています。操作性を確保し、ダウンタイムを削減するために、DISCO DCS141は、半導体およびエレクトロニクス業界の絶えず変化するアプリケーション需要に対応するために簡単に再構成されるように設計されています。また、ユーザーフレンドリーで使いやすいソフトウェアコントロールを備えており、スクラブのプロセスを追跡および文書化するための操作レポートを提供します。全体として、DCS 141は、ウェーハやフォトマスクの高精度で信頼性の高いスクラブに最適なソリューションです。これは、優れた性能、柔軟な構成、最も過酷なスクラブのニーズのための信頼性の高い操作を提供します。