中古 DISCO DCS 141 #293585676 を販売中

DISCO DCS 141
ID: 293585676
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141は、露出や成膜前に半導体ウェーハ、レチクルなどの基板表面を洗浄するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、精密スクラブおよびクリーニング用途向けの高速で信頼性が高く、経済的なソリューションです。ディスコDCS141スクラバーは、最大300mmウェーハおよびレチクルをクリーニングすることができ、300mmおよび200mm製造プロセスの両方での使用に適しています。DCS 141は、洗浄性能に優れた高度なスクラブ技術を採用しています。このデザインは、最大のスクラブ効率と均一なクリーナー分布を確保するために、可変速度を備えた2組のコントラ回転ブラシを備えています。スクラビングアクションは、ブラシレスモーターで駆動される電動ドライブシャフトによって駆動されます。このブラシレスモーターは最小限の摩耗および破損の高速、精密スクラブアクションを提供します。さらに、DCS141には環境制御機能が装備されており、スクラブ表面が清潔で汚染物質がないようにしています。ディスコDCS 141は、洗浄時間と洗浄サイクルの状況に関する情報を提供するユーザーフレンドリーで直感的なユーザーインターフェイスを備えています。それはまた、スクラビングサイクルの設定をカスタマイズするためのコントロールの範囲を持っています。設定には、スクラブ圧力、速度、ボリュームが含まれます。さらに、このマシンには、過負荷保護やエラーロギングなどのさまざまな診断および安全機能が付属しています。ディスコDCS141ウェーハとマスクスクラバーは、幅広い洗浄薬品で動作するように設計されており、さまざまな基材と互換性があります。大規模な半導体製造や医療機器製造に最適です。さらに、スクラバーは、自動車から航空宇宙まで、さまざまな業界の特定のニーズに対応することができます。要するに、DCS 141は、半導体ウェーハ、レチクル、およびその他の基板表面を洗浄するための信頼性が高く、高速で費用対効果の高いスクラバーです。ユーザーフレンドリーで直感的なユーザーインターフェイスと、精密スクラビング、環境制御機能、診断および安全機能などのさまざまな機能を備えたDCS141は、幅広い産業用途に対応する汎用性と耐久性に優れたスクラバーです。
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