中古 DISCO DCS 140 #9302501 を販売中
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ディスコDCS 140は、パワフルで効率的なウェーハとマスクスクラバーです。この高度なスクラバーは、ウェーハやフォトマスクからあらゆる種類の粒子や汚染物質を除去するように設計されています。ウェーハやマスクの各種サイズに適した搬送装置を備えています。ウェーハとマスクスクラバーには、ベースユニット、補助ユニット、ノズルシステム、スクラビングユニットがあります。ベースユニットは、操作性に優れたタッチスクリーンディスプレイを備えた操作パネル、ウェーハとマスクの搬送操作を制御するマイクロプロセッサ、電源、警報機、加圧空気ソリューションで構成されています。搬送工具は、大型搬送ホイール、真空吸引シリンダ、リフトアームを備えた搬送ベルトで構成されています。ベルトは、本体からシングルウェーハまたはマスクを積み降ろすことができます。真空吸引シリンダーは、効率的な輸送を確保するのに役立ち、リフトアームはそれらを所定の位置に保持するために必要な圧力を提供します。ノズルアセットはダブルノズルモデルを採用しており、ウェーハとマスクの両面を洗浄することができます。ノズル装置は、調整可能な角度、ジェット幅、および最適な洗浄性能のための回転空気の流れを備えています。スクラビングシステムは、エアフローが傾斜した平面を介して指示されるように設定されています。ロータリースクラビングアームも装備し、均一なスクラビングを実現しています。DISCO DCS140は、ウェーハやマスクのための効率的で強力なスクラバーであり、効率的で信頼性の高いパフォーマンスとユーザーフレンドリーなコントロールパネルを提供します。調節可能なスクラビングアーム、ノズル機械、輸送ツールを使用すると、ユーザーはこの高度なスクラバーのすべての機能の恩恵を受けることができます。ウエハスクラバーとマスクスクラバーは、さまざまな基板の効果的かつ効率的な洗浄を保証し、半導体業界の洗浄用途に最適です。
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