中古 DISCO DCS 140 #9277969 を販売中

ディスコDCS 140は、高度で高性能なウェーハとマスクスクラバーで、最もクリーンで安定した平面化性能を実現します。このモデルは、処理時間、コスト、リスクを削減しながら、正確で反復可能な結果を提供するように設計されています。ディスコのDCS140は、高度なスクラビング技術を備えており、徹底的にクリーンで磨きます。高度な4軸制御装置を搭載し、精密で均一なスクラビングとウェーハ間のバリエーションを最小限に抑えます。回転スピンドルとモーターの改良により精密な洗浄が可能になり、スピンドル検出機能により回転スクラバーヘッドの正確な位置決めが可能になります。1インチあたりの最適な傷（SPI）制御と基板表面全体の一貫した清潔さを実現するために、高度な振動研磨およびスクラビングシステムを備えています。さらに、高圧水スプレーユニットは、ウェーハとマスクの両方を徹底的かつ効果的に洗浄します。洗剤の配達機械はスクラバーの最適な設定に従って清潔を保障するのに必要な洗剤の精密な量を提供するように設計されています。その微細リング位置決め精度と短いスクラビングサイクルタイムは、サイクルタイムを短縮するのに役立ちます。さらに、このモデルは、ユーザーの特定のプロセスに合わせてカスタマイズ可能であり、最小限のオペレータトレーニングで迅速かつ効率的な変更を可能にします。最後に、DCS 140は安全で安全な操作を提供するように設計されています。これは、オゾン排気ガス洗浄ツールが含まれていますクリーニングセッション中に作成されたオゾンや他のガスを除去します。そのマルチステップ安全設計は、市場で最も信頼性の高いスクラバーの1つになりますが、その大きなオープンアクセス設計により、清掃とメンテナンスが容易になります。全体として、DCS140スクラバーは高度で高性能で信頼性の高いユニットであり、ユーザーが最高品質の平面化性能を達成すると同時に、処理時間、コスト、リスクを削減するのに役立ちます。