中古 DISCO DCS 140 #9255326 を販売中

DISCO DCS 140は、半導体プロセスチャンバー用に設計されたウェットタイプのウエハーおよびマスクスクラバーです。ウェーハやマスクの手動スクラブの必要性を排除し、粒子や有機汚染を低減し、一貫した結果を提供するように設計されています。スクラバーは、機械的スクラブプロセスと化学スクラブプロセスを含む2段階のプロセスを使用します。機械的スクラブ工程では、スクラバープラットフォームにウェーハをロードし、スクラビングヘッドの機械的スクラブにより、振動と回転運動を正確に組み合わせてウェーハをスクラブします。ケミカルスクラブ工程では、洗浄剤をウェーハに分配し、水スプレーを使用して薬剤を洗い流し、ウェーハ表面から残留粒子を除去します。洗浄剤は、機械的スクラブプロセスによって作成された残留物を効果的に除去します。ディスコDCS140スクラバーには、信頼性の高いスクラブ性能を確保するためのいくつかの機能が装備されています。このシステムは、2つのチャンバー間でウェーハを移動させるシーケンシャルシステム、または1つのチャンバーシステムのいずれかで使用できる2チャンバーシステムを備えています。また、必要に応じてスクラビングパラメータを調整できる2つの操作モード（自動モードと手動モード）があります。スクラバーには、スクラビングヘッドの高さの自動制御、水槽を補充する必要があるときに検出する湿度センサー、潜在的な危険からオペレータを保護するための安全ネットと障壁などの安全機能が組み込まれています。また、コントロールパネルから遠隔操作することもでき、生産プロセスの柔軟性を高めます。DCS 140スクラバーは900H×600W×600D mmのコンパクトなボディで、スペースが限られた施設に適しています。その軽量構造はまた、優れたモビリティをスクラバーに装備します。さらに、スクラバーには最大7。1リットルの水を保持するウォータータンクが装備されており、詰め替えを必要とせずにより長いスクラビングサイクルを実行することができます。スクラバーの内容全体が表示され、使用中はクリアビューウィンドウを介して表示されるため、スクラバードアを開くことなくスクラブの進行状況を監視できます。スクラバーには、エラー、警告、およびマシンステータスインジケータを示すいくつかのディスプレイとLEDライトも備えています。結論として、DCS140は、半導体生産プロセスの厳しい要件を満たすように設計された信頼性の高い効率的なウェットタイプのウエハーおよびマスクスクラバーです。使いやすくコンパクトなため、スペースが限られた施設に最適です。