中古 DISCO DCS 140 #9246368 を販売中

ディスコDCS 140は、フォトレジスト、エッチング、CMPなどの半導体加工アプリケーションを処理するために設計された洗練されたウェハマスクスクラバーです。この機械は、幅広い動作と自動スクラブ機能を備えており、リソグラフィーのレチクル、露出マスク、ゲート、反射防止面の高精度な洗浄を可能にします。DISCO DCS140は、材料の無駄を最小限に抑えた徹底的な洗浄を実現するよう設計されており、重要な生産プロセスで最適なコスト効率を実現します。DCS 140は3軸モーションコントロール装置で構成され、高精度のDCサーボモータによって駆動されるX-Yトラバースステージを備えています。このコンパクトなシステムは、アプリケーションと基板タイプに応じて、パターン洗浄と面積別の洗浄の両方を可能にします。さらに、リニアモータによって駆動されるZ軸を備え、最大200 µmの高速スキャン範囲を提供します。これらの重要な機能により、スクラバーは多くの複雑な洗浄作業を高精度で遂行することができます。スクラバーは最大180 rpmのウェーハスピンレートを備えており、汚染を最小限に抑えながらウェーハを迅速かつ徹底的に洗浄できます。さらに、DCS140は腐食や汚染を防ぐ浄水装置を備えています。このマシンは、複数のクリーニングパスを提供することもでき、クリーニング液がアクセスできない領域に容易に到達することができます。さらに、マシンには多言語LCDタッチスクリーンがあり、ユーザーとオペレータにスクラバーを簡単に制御することができます。このユーザーフレンドリーなインターフェイスにはリアルタイムデータ監視機があり、オペレータがクリーニングプロセスを評価しやすくなります。スクラバーのソフトウェアにはデータの保存と編集機能もあり、ユーザーは必要に応じて素早くクリーニングサイクルを呼び出してカスタマイズすることができます。ディスコDCS 140は、高効率で汎用性の高いウェーハマスクスクラバーで、さまざまな材料や基板の一貫した正確な洗浄を提供します。高精度の機能とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、最新の半導体製造プロセスに最適です。