中古 DISCO DCS 140 #9217393 を販売中

DISCO DCS 140は、株式会社ディスコが開発したウェーハ&マスクスクラバーです。ディスコDCS140は、シリコンウエハーマスクの洗浄・洗浄に使用され、高い生産歩留まりを維持し、半導体業界に品質管理を強化します。DCS 140は完全に自動化されたコンピュータ制御の操作を利用しており、複数のチップを同時に正確かつ確実にスクラブすることができます。このデバイスは、デバイスのロボットアームを介してロードおよびアンロードすることができる最大7つの両面ウェーハを保持するスロット型ホルダーで設計されています。また、適切な洗浄剤を使用してウェーハホルダーを配置し、単一のウェーハのクリーニングを行うためのHeNeレーザーも備えています。最初に、デバイスはウェーハをクリーニングソリューションに浸してから、ソリューションから取り除きます。その後、超音波装置とブラシを使用してチップをスクラブし、異物、破片、粒子を表面から取り除きます。これらの汚れ粒子は、手動ブラッシングの必要性を排除し、クリーニングエリアから吸引されます。DCS140はまた、チップの汚れを振動させるために高周波音波を使用する超音波システムを持っています。このユニットの精度と精度は、スクラビングプロセスをはるかに効率的かつ洗練させるものです。ディスコDCS 140は、より長いポンプ寿命、振動のないクリーニングプロセス、わずか1秒のインフレームピックアップ時間など、減価償却とダウンタイムを削減するために設計されたさまざまな機能を提供します。また、1ミクロンフィルターと10ミクロンフィルターを内蔵した浄水器を採用し、0。2ミクロン以下の粒子をろ過し、清掃用の純水を提供します。さらに、このマシンは、一度にいくつかのクリーニングサイクルを実行することができるように、DI水で動作するように設定することもできます。DISCO DCS140は、半導体製造のためのマスクおよびウェーハ洗浄のタスクに効率的かつ高度なソリューションを提供します。精密で自動化された操作ツールは、高品質の歩留まりを保証し、信頼性と費用対効果の高い洗浄ソリューションをユーザーに提供します。