中古 DISCO DCS 140 #9105893 を販売中

DISCO DCS 140は、半導体業界で使用するために設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。本装置は、ウェーハ表面から汚染物質を除去するように設計されており、集積回路などの信頼性の高い生産が可能です。DISCO DCS140は、半導体ウェーハやマスクにおいて、高水準の清浄度と表面仕上げを実現することができます。マシンは、統合されたスクラブブラシシステムと回転ウェーハテーブルを備えたスクラビングチャンバーで構成されています。スクラビングチャンバーは、半導体ウェーハとマスクを所定の位置に保持します。統合されたスクラブのブラシユニットは高さ、角度および速度の意味で調節可能である2つの反回転ブラシから成っています。これらの設定により、ユーザーはマシンのクリーニングパラメータを調整して、特定の要件に微調整することができます。さらに、スクラビングチャンバーには、最適な性能を確保するためのガス排気装置が装備されています。DCS 140は、サイクルあたり最大直径450mmの最大12ウェーハを収容できます。回転ウェーハテーブルは、調整可能な速度設定を備えており、積み下ろし操作のための任意の角度で停止することができます。さらに、ピンセット、プライヤー、サクションカップなど、幅広いハンドリングツールに対応できます。これにより、オペレータは、損傷なくスクラビングチャンバーからウェーハを確実にロードおよびアンロードすることができます。DCS140は、さまざまな安全機能を備えています。スクラビングチャンバーの近くにあるフローメーターを使用すると、機械の動作を監視し、気流やその他の故障の潜在的な問題を検出できます。さらに、このモデルには緊急停止ボタンが装備されており、故障した場合にすぐに機械の動作を停止します。エネルギー消費の観点から、DISCO DCS 140は最高の効率のために設計されています。それは高温の結果として損傷を防ぐために調節可能なスタンバイ・モード、また作り付けの熱保護用具が装備されています。全体的に、ディスコDCS140は、優れた清潔感と表面仕上げを実現することができる信頼性と効率的なウェーハとマスクスクラバーです。その高度な機能と安全機能は、半導体業界にとって理想的な選択肢です。