中古 DISCO DCS 140 #9069545 を販売中

DISCO DCS 140
ID: 9069545
ヴィンテージ: 2010
Wafer cleaning system 2010 vintage.
DISCO DCS 140は、株式会社ディスコのトップクラスのウェーハ&マスクスクラバーです。この高度なスクラバーは、ウェーハとマスクの処理時間を短縮し、効率的な洗浄プロセスでクリーニングコストを削減するように設計されています。ディスコDCS140は、自動速度と圧力制御を備えた高度なブラシレスモーター駆動システムを使用しています。これにより、洗浄圧力の均一な分布と、ウェーハまたはマスク表面全体の洗浄時間を提供します。さらに、DCS 140は最大10,000gf-cmのスクラブ力が可能で、最も困難な表面でも完全な洗浄が可能です。DCS140の基本的な部分は、スクラビングブラシを自動的に振動させることによってスクラブ効率を高めるコンデンサ制御バイブレーター技術です。この振動は、ウェーハやマスク表面の汚れの表面付着を低減し、取り外しを容易にするのに役立ちます。さらに、ディスコDCS 140は、2 ″から6 ″までのウエハサイズをスクラブすることができます。標準的なブラシ構成は、ウェーハとマスクの両方をスクラブするだけでなく、特殊なエッチングやコーティングなどの特殊なアプリケーション用のカスタム構成も利用できます。DISCO DCS140は、グラフィカルなLCDディスプレイを備えた強力なコントローラを内蔵しており、ユーザーは各ウエハとマスクサイズのクリーニングパラメータを迅速かつ簡単に設定できます。付加的な利点として、このコントローラーはまた99まで異なったクリーニングの調理法を貯えます。これにより、ユーザーは以前の設定を思い出してクリーニングプロセスを最適化することがはるかに簡単になります。さらに、コンピュータ互換のRS-232Cおよびイーサネットポートを使用して、外部のPCまたはネットワークにデータを転送し、追加のプログラミングおよびデータロギング機能を提供します。パフォーマンスはDCS 140の大きな利点の1つです。他の多くのスクラバーとは異なり、このモデルはあらゆるウエハとマスクサイズに最適な性能を与えるように設計されています。1時間あたり最大500ウェーハの驚くほど高速な洗浄が可能で、生産環境に最適です。さらに、DCS140には3点式エアスリットノズルシステムが内蔵されており、より高いボリュームと速度の空気圧を保証します。この圧力は、スクラビングプロセス中に存在する可能性のある空気中の汚染を簡単に取り除くことができます。ディスコDCS 140は、ウェーハ&マスク洗浄用の強力で信頼性の高いツールです。高度な機能と必要な制御オプションの組み合わせは、頑丈で効率的なクリーニングを必要とする人に最適です。さらに、最大99種類のクリーニングレシピを保存できるため、生産環境には必須です。迅速かつ効率的にウェーハ&マスクをきれいにする必要がある人にとって、DISCO DCS140は優れた選択肢です。
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