中古 DISCO DCS 140 #293671766 を販売中

ディスコDCS 140は、半導体デバイスの効率と品質を最適化するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、優れた結果を達成するために機械的および化学的表面洗浄の組み合わせを使用して、手元のタスクに応じて圧力ジェットまたは空気ブラッシングオプションのいずれかを提供します。7 インチLCDタッチパネルとPCインターフェースを備えており、素早く簡単に操作できます。これは、2つの船上遠心ファンコーター、4つの精密センタリングサブステージと1セットの化学タンクが装備されています。これにより、さまざまなサイズ、形状、厚さの複数の基板を同時に処理できます。ウェーハスクラバーには、浸漬リンス、再循環リンス、GFETリンス、コールドエッチングリンスなど、いくつかの洗浄機能があり、すべて基板表面から粒子、残留物、汚染物質を除去するように設計されています。マスクスクラバーは、デュアルスピニングブラシと独自のDI水洗システムを使用して、マスク表面から有機および無機粒子汚染を除去します。スクラバーは連続したウェーハおよびマスクのクリーニング操作を行うためにセットアップすることができ貴重な生産時間を節約します。このデバイスは幅広いプロセスパラメータを提供し、ユーザーは特定のプロセス要件に合わせてパフォーマンスを微調整および最適化できます。表面分析や特性評価、熱エッチング、無電解めっき、CVD/ALDスパッタ蒸着など、幅広いプロセスと統合できます。ディスコDCS140は、研究から大量生産まで、幅広い半導体プロセスに適した信頼性と効率の高いウェーハ&マスクスクラバーです。それは良質プロダクトに終って容易な操作および使用のために設計されています。