中古 DAS V01.0082 #293627092 を販売中

DAS V01.0082は、半導体製造の製造プロセスに役立つように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。最大4枚の8インチウェーハと1枚の5インチマスクを同時に処理できる自動化システムです。スクラバーは、滑らかで均一な洗浄プロセスを作成する独特の湾曲したデザインで陽極酸化アルミニウムとステンレス鋼から構築されています。スクラバーは、最大4つの8インチウェーハと1つの5インチマスクを保持するように設計された整理トレイで設計されています。それは点検および点検なし操作のための2つの調節可能なライトを特色にします。また、ウェーハ加工用とマスク加工用の2つのコントロールパネルがあります。さらに、スクラバーは化学除去、研磨、脱脂、一般的な洗浄などのプロセスを可能にします。スクラバーには独自のウォーターポンプシステムが装備されており、スクラビングプロセスで使用される水を継続的に交換するために使用されます。また、スクラビング中に誤ってウェーハやマスクから取り外した粒子を除去するために使用される2段階のろ過システムも装備されています。これにより、すべての汚染物質が適切に除去されます。また、リアパネルに配置されたフレキシブルなスプレーパターン調整ノブを備えており、処理する材料に応じてスクラビングアームのスプレーパターンをカスタマイズすることができます。これは、表面組成が異なるウェーハとマスクの両方をスクラブする場合に特に便利です。スクラバーはいくつかの安全機能を備えています。例えば、スクラバーには、過熱や過度の振動などの異常が発生した場合に自動的にスクラバーをシャットダウンする安全スイッチが装備されています。スクラバーには、バックパネルに緊急停止ボタンがあり、電源を遮断し、インシデントが発生した場合に安全なシャットダウンを可能にします。DAS V01.0082ウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体製造に最適な信頼性と効率性の高いツールです。複数のウエハーやマスクを一度に取り扱うことができ、異なる素材にカスタマイズ可能なスプレーレートを提供します。さらに、ユニットには、オペレータと処理中のコンポーネントの安全性を確保するために、いくつかの安全機能が装備されています。