中古 DAS ESCAPE #9300744 を販売中

DAS ESCAPEは、半導体の製造において可能な限り最高レベルの清浄度を維持するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。ポストエッチングおよびポストフォトレジストのウェットクリーニングプロセスに特に適しています。ESCAPEは人間工学に基づいた設計で、既存の生産ラインに組み込むことができます。スクラバーには、さまざまなクリーニング作業に合わせて調整できる通電式スクラブブラシが装備されています。ウェーハは、カセット、カセットラック、または手動で3つの方法のいずれかでスクラバーにロードできます。2ステップのバッチ洗浄サイクルは、2つのブラシが前方と逆方向に独立して回転し始めたときに始まります。これにより、ウェーハに印加される回転衝撃が発生し、汚れや破片の除去に最適な高いスクラブ力が得られます。DAS ESCAPEは完全に自動化されており、プログラム可能なブラシ回転パラメータの選択と、クリーニングパラメータの読み取りとエンドオブプロセスアラームを提供するプロセスコントローラを備えています。ウェーハカセットは自動的にインデックス化され、適切な位置決めが可能で、スクラバーは一度に最大100個のウェーハをクリーニングできます。さらに、スクラバーは大きな窓を備えており、プロセス中の部品を簡単に監視できます。スクラバーには、バランスの取れない負荷検出器、スプラッシュバックから保護するスプラッシュガード、クリーニングプロセス中に回転ブラシへのアクセスを防止するチャンバードアインターロックなどの安全機能も装備されています。スクラバーはまた、クリーニングプロセスからの粒子を効果的にトラップし、スクラバーにきれいな空気を確保するために、さまざまな標準的なフィルターとパージ空気に依存しています。ESCAPEはメンテナンスが簡単で、定期的にブラシやフィルターを交換する必要があります。スクラブブラシは、複数の洗浄サイクルを経るように設計されており、フィルターは汚染が発生した場合に簡単に交換できるように設計されています。スクラバーはまた、洗浄サイクル間のダウンタイムを減らすために迅速なランプアップ時間をサポートし、最高水準の清潔度を満たすように設計されています。