中古 DAITRON DSC-100CV #9294598 を販売中

DAITRON DSC-100CVは、半導体業界向けに特別に設計された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。最高レベルの表面洗浄品質性能を提供する、信頼性の高い精密ウェーハ/マスク洗浄装置です。スクラバーは、ロボット化されたウェットとドライクリーニングの組み合わせを使用して、長方形と正方形のウェーハとマスクの表面を高効率で正確かつ高性能に洗浄します。スクラバーは、A/Dコンバータプラットフォームを備えた登録済みの不可欠なモーションアルゴリズムを使用して、システムを堅牢で安定したものにします。ウェーハクリーニングヘッドには、4つの調整可能なロータリーブラシヘッド、2つの調整可能なスイングブラシヘッド、2つの調整可能な垂直移動ブラシヘッドが含まれます。また、直径200mmまでのウェーハを取り扱う高性能な空気圧式グリッパーユニットを採用しています。さらに、スクラバーには両面、信頼性の高い磁気ディスクが組み込まれており、ウェーハとマスクの両側から粒子を除去するために使用されます。磁気ディスクは高速ステッピングモーターによって動力を与えられ、クリーニングの性能の速度そして強さの制御を可能にします。このスクラバーには、Eストップボタン、圧力および温度センサー、安全インターロック機構など、安全で安定した動作を保証するためのさまざまな安全機能が装備されています。また、統合された視覚およびオーディオアラーム、および潜在的な問題のオペレータに警告するための指向性ライトマシンも含まれています。また、ユーザーフレンドリーで直感的なインターフェースを備えているため、さまざまなタイプのウェーハやマスクのクリーニングに簡単に操作および調整できます。また、内蔵の通信インターフェースにより、データロギングと監視のための外部コンピュータへの接続も可能です。スクラバーは最小限のメンテナンスしか必要とせず、その操作は非常に効率的で信頼性が高いです。要約すると、DSC-100CVは、半導体業界において最高レベルの洗浄性能を提供する、信頼性の高い精密ウェーハおよびマスクスクラバーです。直感的で効率的に設計されており、さまざまな安全機能と操作と構成が簡単に行えるユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。