中古 DAITRON ARIS LCD 100 #9285702 を販売中

DAITRON ARIS LCD 100は、ウルトラクリーンルームアプリケーション用に設計されたオールインワンウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、スクラブ中の環境汚染を最小限に抑えるように設計された完全に囲まれたエアタイトスチールキャビネットで構成されています。スクラバーは、ステンレス製のチャンバーで構成されています。DAITRON ARIS-LCD100には、プライマリステージとセカンダリステージの2つのスクラビングステージがあります。主な段階では、超音波クリーン装置（UCS）と表面スクラブシステムを組み合わせたプロセスを使用してウェーハを精製します。UCSは、ウェーハの奥深くに浸透する高周波、高圧超音波を適用し、有機物やミネラル汚染物質の効果的な除去を可能にします。表面スクラブユニットは、4つの回転ブラシでウェーハをさらに磨き、ウェーハ表面を精力的にスクラブして優れた仕上がりを実現します。二次的な段階は、徹底的なマスクの洗浄に集中します。この段階では、自動化されたロボットアームは、正確に設計されたノズルの前に各マスクを正確に配置するのに役立ち、高圧蒸気の標的噴霧がマスク表面から粒子状物質を完全に除去することを可能にします。また、洗浄機はウェーハの自動調整機構を備えており、異なるサイズのウェーハを効率的に洗浄することができます。ARIS LCD 100にはPLC制御ツールが搭載されており、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを提供し、ウェーハ洗浄プロセスを簡単かつ正確に制御できます。PLC制御アセットは、クリーニングチャンバー内の厳格な温度および湿度制御を提供し、ウェーハ表面およびマスクの正確なクリーニングパラメータを常に維持します。ARIS-LCD100は、卓越した性能と優れた洗浄機能により、ウルトラクリーンルーム用途に最適です。品質、精度、洗浄速度を損なうことなく、ウェーハやマスクから完全な汚染除去を保証します。