中古 CSK HEATS-05 #9278131 を販売中

CSK HEATS-05は、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜などの半導体製造で一般的に使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、チップ製造に使用される加工装置を洗浄し、洗浄するように設計されています。電解洗浄技術を搭載した再循環可能なベッドスクラバーで、薬品、水、スクラブ材料の消費を最小限に抑えた高効率洗浄を約束します。密封された部屋で行われるプロセスは、有機性汚染物質、塵の粒子およびスラグ、また他の生産の家の残余を取除くことができます。クリーニング部屋は3つの異なった区域に分けられます：最初の区域はクリーニングされるべきウェーハ、マスクまたは他の材料の記入項目のためです；2番目の領域は、洗浄する材料を処理するためです。3つ目は、プロセス媒体（通常は脱イオン水溶液）が貯蔵され、リサイクルされるタンクおよびフィルターユニットです。選択で使用されるクリーニング代理店は基質の表面に付着する粒子か塵を分解し、緩める界面活性剤およびナトリウムの混合物です。洗浄液はブラシローラスクラバーを循環させ、基板を一定時間露出させて完全な表面洗浄を保証し、空気中の温度は最大80°Cに達します。洗浄が完了したら、基板をすすぎ乾燥させます。HEATS-05は、ヘビーデューティ、ラウンドクロック洗浄プロセス用に設計されており、高い生産能力のチップ製造に適しています。これは、高速と効率だけでなく、低ノイズと振動レベルを備えています。スクラバーには組み込み制御システムが装備されており、スクラブおよび洗浄プロセスを自動化できます。また、センサーのシステムと専用制御ソフトウェアによって監視される洗浄剤の時間、攪拌レベル、温度、濃度などのパラメータを監視する機能を備えています。CSK HEATS-05の全体的な設計は、過酷な生産環境下でも一貫した効率的な運用に焦点を当て、信頼性が高く頑丈です。このユニットはユーザーフレンドリーでユーザーアジャスタブルであり、簡単な洗浄機の最適化を可能にし、より高い柔軟性と洗浄プロセスのより良い制御を提供します。このツールには、安全な操作を保証するためのノンストップ洗浄安全機能も装備されています。全体として、HEATS-05は、半導体チップの製造に必要な幅広いウェーハおよびマスク洗浄要件に対し、高効率で安全で信頼性の高い洗浄資産を提供し、高い信頼性、一貫性、費用対効果を提供します。