中古 CSK HEATS-05 #293647981 を販売中

CSK HEATS-05は、半導体デバイスの洗浄用に設計された高効率の自動ウェーハおよびマスクスクラバー装置です。このシステムは、半導体デバイス製造に使用されるスクラバーのCSKヒートシリーズの一部です。このユニットは、イオン化された空気を利用してウェーハやマスクから汚染物質を除去する低真空クリーニングプロセスを利用しています。このプロセスは、あらゆる粒子を20nmまで除去することができ、デバイスの表面から粒子を除去するのに効果的です。このプロセスはまた、硬化およびリソグラフィの前に粗い表面または傷のある表面の優れた洗浄を提供します。この機械は、プラテン、真空チャンバー、電源の3つの主要部品で構成されています。プラテンは、ヒーター内蔵により所望の温度に加熱される耐放射性アルミニウム加工面です。真空チャンバーは、サイクルでツールに空気を引き込むように設計されていますが、電源は資産に電力を供給します。プラテンには、2つのウェーハパッドと4つのスクラビングヘッドが装備されており、それらをきれいにするためにウェーハまたはマスクの表面を移動します。プラテンは有効なクリーニングのための200°Cの最高温度に加熱することができます。イオン化された空気で処理された後、ウェーハはプラテン上に置かれ、乾燥させ、硬化またはリソグラフィのためにUVまたはレーザーで処理されます。このモデルは、最大サイクルタイム60秒で8 「x 10」のサイズまでウェーハまたはマスクを処理することができます。HEATS-05は、操作が簡単で、ウェーハやマスクの安全な洗浄を提供する一貫した信頼性の高い洗浄プロセスを提供しています。装置は幅広いデバイス製造プロセスに対応しているため、あらゆる半導体デバイス製造メーカーに最適です。