中古 CS ENG CTS 5500 #9373016 を販売中

CS ENG CTS 5500は、半導体製造プロセスで使用されるパターン化されたウェーハおよびマスクの洗浄を自動化および強化するために設計されたウェーハ&マスクスクラバー装置です。このシステムは、円形、長方形、非対称ウエハ、長方形やアイロンなど、幅広い基材や形状の洗浄が可能です。CTS 5500は、片側に高速で高効率なスクラバーを搭載したデュアルスクラバー構成を採用し、より大きなウェーハには高速で強力なスクラバーを使用します。このデュアルサイドスクラビングプロセスにより、ウェーハとマスクの両方の領域の全体的なスクラビングカバレッジを向上させると同時に、パターン化されたフィーチャーに対する損傷のリスクを低減できます。CS ENG CTS 5500には、高いスキル、直感的なプログラミングを使用した表面プレート検出機が装備されており、スクラバーはウェーハやマスク上のサブミクロン粒子を検出して標的にすることができます。この高度なツールは、必要最小限の人間の介入でウェーハとマスク表面の完全な洗浄を保証します。さらに、CTS 5500には、最適化された真空アセットと統合されたCool Jet Siphonが内蔵されており、摩擦による過熱や潜在的な損傷からウェーハやマスクを保護します。CS ENG CTS 5500モデルは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えた完全に統合されたプロセス制御装置を提供します。このGUIを使用すると、スクラバーパラメータを簡単に設定し、スクラブ性能を監視し、ウェハ全体とマスククリーニングと乾燥プロセスを簡単に制御できます。システムには、必要に応じて使用および変更できるいくつかの標準レシピがプログラムされています。CTS 5500は堅牢で信頼性が高く、効率的なスクラバーユニットで、ウェーハとマスクの両方にトータルスクラビングソリューションを提供します。基板の形状やサイズを幅広く洗浄することができ、高度なスクラブ技術により、各ウェーハとマスク表面の完全かつ一貫した効果的な洗浄が保証されます。ユーザーフレンドリーなGUIと統合されたプロセス制御マシンを備えたCS ENG CTS 5500ツールは、時間とエネルギーコストを最小限に抑えながらクリーニング結果を改善するのに理想的な選択肢です。