中古 CS ENG CTS 5000 #9373015 を販売中

CS ENG CTS 5000は、半導体部品の製造において最高レベルの精度と効率を提供するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、接触アライメントツールに配置される前に、ウェーハやマスクをクリーニングするための信頼性と経済的な手段を提供するように設計されています。CTS 5000は、生産性を最大化するためにインラインシステムを使用するように作られています。スクラバーは、異なるサイズのシングルウェーハとマルチコンポーネントウェーハの両方を洗浄することができる完全に自動化されたシステムです。高度なスクラブ法は、ウェーハから汚染物質を除去するだけでなく、それらに損傷を与えることができないことを保証します。スクラバーは連続したDI水を使用してウェーハをクリーニングし、プロセスは統合されたクリーニングソフトウェアを介して自動的に品質を監視します。スクラバーは、ウェットベンチ、エッチャー、スピナー、ボンダーなどの他の加工ツールと統合して、最高レベルのプロセス制御を保証できます。CS ENG CTS 5000には、DI水、スクラビングスクラバー、スクラビングディッシュ、リンスディッシュ用の4つのクリーニングタンクがあります。スクラバーディッシュは、最適なスクラビングプロセスを確保するために、スクラブ圧力の異なるレベルで設定することができ、多孔質スクラビングパッドが含まれています。ウェーハとマスクは、スクラブ皿の中の回転ホルダーに取り付けられ、可変速度で回転します。片手に持っているスクラビングブラシは、常にウェーハとマスクの表面上を制御された方法で移動し、汚染を除去します。DI水溶液は、4つのタンクのそれぞれで補充され、徹底的な洗浄を保証します。CTS 5000はまた、最適な洗浄結果を確保するために、さまざまな化学薬品やさまざまなスクラビングパッドやブラシを使用する柔軟性を提供します。この柔軟性により、システムは特定のアプリケーションの要件を満たすようにカスタマイズできます。また、CS ENG CTS 5000がピークパフォーマンスレベルで動作していることを確認するために、システムを他の監視および制御システムにリンクすることもできます。全体として、CTS 5000は、半導体部品製造プロセスにおいて最高レベルの精度と効率を提供する高性能ウェーハおよびマスクスクラバーです。その高度な技術は、ウェーハやマスクを損傷することなく徹底的に洗浄することを保証します。CS ENG CTS 5000は、さまざまな化学薬品とブラシを使用する柔軟性がその機能をさらに強化し、高性能ウェーハおよびマスク洗浄要件に最適なソリューションです。