中古 CONVAC DSS 200 #9053125 を販売中

CONVAC DSS 200は、半導体デバイス製造施設向けに設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。通常はクリーンルーム入口やクリーンルーム自体の正面に設置される自己完結型のユニットです。DSS 200は、クリーンルームに入る前に、ウェーハとマスク（ステンシル、フィルム、フレーム、ディスク、ストリップ）を効果的に洗浄するデュアルステージスクラビングプロセスを使用しています。スクラビングプロセスの最初の段階は取り外し可能な引出しに貯えられる単位に荷を積まれる化学タブレットを利用する。化学タブレットは、内部の部品にシミュレーションされたレインシャワーを引き起こす内部チャンバーにゆっくりと放出されます。このシャワーは、クリーンルーム環境内で汚染を引き起こす可能性のあるウェーハやマスクからほこりや汚れなどの汚れを取り除きます。スクラビングプロセスの第2段階では、両面スクラビングブロックを使用しています。ブロックは、それが簡単に最初の段階のケミカルマイスターで除去されていない任意の汚染物質や残留物を除去することができます特別な洗浄化合物で処理されます。ブロックはウェーハまたはマスクの上で回転し、エアジェットは表面から破片を持ち上げてコレクションビンに入る真空を作り出します。スクラビングサイクルが完了すると、CONVAC DSS 200は無効化され、ドアが開き、クリーニングされたコンポーネントを取り出すことができます。単位は次のクリーニング周期の使用のためにそれから空けられ、乾燥することを許可することができます。DSS 200は、半導体デバイス製造施設におけるクリーンルーム環境を改善するための信頼性が高く、効率的で費用対効果の高い方法です。優れたクリーニングを提供することに加えて、CONVAC DSS 200はまた、スタッフが追加のクリーニングとメンテナンスに費やす時間を削減することによってコストを制御するのに役立ちます。