中古 CONVAC DSS 200 #105098 を販売中

ID: 105098
ウェーハサイズ: 8"
Double sided scrubber, 8" Stainless steel construction.
CONVAC DSS 200は、半導体製造プロセスで広く使用されているウェーハおよびマスクスクラバーです。汚染のない環境を確保しながら、繊細なシリコンウェーハとフォトマスクの比類のない洗浄性能を提供するように特別に設計されています。DSS 200には、汚染のない環境を確保するための多くの高度な機能が装備されています。それは気流を高め、クリーンルームの汚染を減らすのに高性能の背部波形を付けられたバルクのプレナムを使用します。スクラバーには、クリーンルーム環境の異常な変化をユーザーに知らせる環境警告装置も装備されています。このシステムには、より効率的な粒子除去のためのプリーツフィルターが装備されています。スクラバーは、空気の0。5 粒子/cm2以下の汚染レベルを達成するように設計されています。シリコンやレジストなど様々な材料で試験され、粒子除去の面で優れた結果を得ています。スクラバーは、コーナーやエッジを含む基板の表面全体をきれいにすることができます。さらに、CONVAC DSS 200には、最高レベルの効率で動作するセルフモニタリングユニットが装備されています。ウェーハ、マスク、基板洗浄性能を最適化する自動温度制御機を搭載しています。このツールを使用すると、スクラバーを継続的に実行でき、複数のクリーニングサイクルで一貫した結果が得られます。DSS 200は、クリーンルームの汚染を最小限に抑えるように設計されています。HEPAフィルターアセットとクリーンルーム排気制御モデルを搭載し、粒子レベルを最大許容限度の1/10に下げることができます。また、消耗前にナノフィルター内の粒子を捕捉するコンタミネーション回収装置を備えており、クリーンルーム内の汚染を最小限に抑えています。最後に、CONVAC DSS 200は、簡単な構成とメンテナンスを可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。ユーザーフレンドリーなデザインにより、使いやすくセットアップが簡単です。システムは、リアルタイムのステータス更新を提供することができ、動的な監視とメンテナンスのためのPCまたはネットワークプリンタに接続することができます。全体として、DSS 200は信頼性が高く効率的なウェーハおよびフォトマスクスクラバーで、比類のない洗浄性能と汚染制御を提供します。その高度な機能とユーザーフレンドリーな設計により、半導体製造に最適です。
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