中古 BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401143 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload TMは、半導体ウェーハおよびマスクの物理的欠陥の問題に対処するために設計されたウェーハ&マスクスクラバーで、チップメーカーの歩留まりを改善します。この革新的で費用対効果の高いスクラバーは、より効率的な洗浄とウェーハやマスクの汚染を防止するさまざまな機能と機能を提供します。マシンはオーバーヘッドを備えたスクラビングデッキで構成され、蛇行しています。デッキは基板ホルダーとして機能し、ロータリーはそれらを掃除し、乾燥するための車両です。この便利な機能は、基板との汚染の原因となる接点の量を減らし、洗浄時間を長くするのに役立ちます。メインのスクラビングモジュールには2つの独立したスクラビングゾーンがあり、基板表面の両側の物理的欠陥を同時に除去するように設計されています。これは、均一な表面特性を確保し、ウェーハまたはマスク上の任意の可能な汚染物の蓄積を除去するのに役立ちます。Fixload装置は、基板に向けられ、ターゲット表面に調整することができる乱気流の強力なジェット機を使用しています。スクラビングプロセスは、均一で制御されたスクラビングを可能にするインライン粒子検出システムでサポートされています。このユニットは、欠陥をスキャンして分析する強力なレーザーとカメラのマシンを組み込むことによって動作し、メーカーはスクラビングプロセスの状態にリアルタイムのフィードバックを与えます。Fixloadは、完全に自動化されたウェーハおよびマスク洗浄プロセスを提供し、最高レベルの清浄度と精度を保証します。積層ダイから薄膜、マルチレベルFEOL、 BEOLまで、さまざまな基板に対応可能です。また、100mmと200mmのウェーハを、比類のない性能と精度で洗浄することができます。結論として、Fixload TMは強力で高度に自動化されたウェーハ&マスクスクラバーであり、半導体ウェーハおよびマスクの物理的欠陥を除去するための包括的で費用対効果の高いソリューションを提供します。優れた性能、精度、プロセス制御を提供し、洗浄基板を保証する完全自動洗浄プロセスを提供します。BROOKS AUTOMATION Fixload TMは、さまざまなウェーハやマスクに対応することができるため、不適合製品の削減と利益の向上を目指すチップメーカーにとって貴重なツールです。