中古 BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401141 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload TMは、半導体製造研究所で使用される高効率で信頼性の高い自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。ウェーハやマスクの迅速かつ効率的で信頼性の高いスクラブを可能にするように設計されています。この装置は、半導体製造研究所の過酷な生産環境に耐える工業用グレードの部品から構築されています。Fixloadスクラバーには3軸電動アームが装備されており、精密スクラブのために多方向に回転することができます。このユニットには、ウェーハやマスクから汚染物質を除去するためのスクラビングブラシが含まれており、スクラブ操作をカスタマイズするためのプログラマブルコントローラが装備されています。さらに、スクラビングユニットは、特定の操作を実行するためにプログラムすることができる25までのレシピを格納することができます。このシステムには、高効率の水および化学物質管理ユニットも組み込まれています。これにより、スクラビングプロセス中にウェーハとマスクが適切に洗浄されます。この機械は、水道水や中央のクリーナーに接続でき、フィルターを使用してプロセスからの廃棄物や汚染を減らすことができます。Fixloadツールの安全機能には、衝撃の危険を防ぐための低レベル電圧作業エリアが含まれます。スクラビングプロセス中に適用される予防圧力は、調整可能で簡単に監視されます。さらに、強力な真空アセットは、プロセス中の汚染物質の蓄積を防ぎます。Fixloadスクラバーのユーザーインターフェイスは直感的に設計されています。このモデルは、すべてのスクラビングパラメータとわかりやすいアイコンを表示するカラーグラフィックLCDディスプレイを備えています。ユーザーはまた、進行率、問題解決に役立つエラーコード、およびユーザーが自分の結果を追跡し、必要に応じて調整することができる強力な統計コレクターに関するフィードバックを提供されています。全体として、Fixload TMは半導体製造研究所にとって理想的な選択肢です。複数の調整可能なスクラビングパラメータと直感的なユーザーインターフェイスを備えた、高効率で信頼性の高い自動スクラビング装置を提供します。高容量で高精度な生産環境に最適です。